ULVAC PRC Serisi Mekanik Booster Vakum Pompası
ULVAC PRC Serisi, yarı iletken ve LCD üretim prosesleri gibi yüksek temizlik gereksinimlerine sahip uygulamalar için geliştirilmiş mekanik booster vakum pompasıdır. Kuru pompalar, yağlı döner vakum pompaları veya su halkalı vakum pompaları ile birlikte kullanılarak, ön vakum pompalarının performansının düştüğü 10 kPa ile 0,1 Pa arasındaki basınç aralığında pompalama hızını önemli ölçüde artırır.
Öne Çıkan Özellikler
Kullanım Alanları
PRC Serisi mekanik booster pompalar, yüksek vakum performansı ve proses temizliğinin kritik olduğu birçok uygulamada kullanılmaktadır:
Teknik Avantajlar
PRC Serisi; PRC-003A, PRC-006A, PRC-012A ve PRC-018A modelleriyle 280 m³/h ile 1800 m³/h arasında pompalama kapasitesi sunmaktadır. Korozyona dayanıklı yapısı, yağsız pompalama teknolojisi ve yüksek temizlik standartlarına uygun tasarımı sayesinde yarı iletken, ekran teknolojileri ve ileri teknoloji üretim proseslerinde güvenilir bir vakum çözümü sağlar. Ön vakum pompaları ile birlikte kullanıldığında sistemin toplam pompalama performansını önemli ölçüde artırarak daha kısa proses süreleri elde edilmesine katkı sağlar.
| PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | PRC-018A | |
|---|---|---|---|---|
| Pompa Devir Hızı (50 Hz) | 280 m3/S （4670 L/dk） | 500 m³ / S (8330 L/dk) | 1000 m³ / S (16700 L/dk) | 1500 m³ / S (25000 L/dk) |
| Pompa Devir Hızı (60 Hz) | 330 m³ /S (5500 L/dk) | 600 m³ / S (10000 L/dk) | 1200 m³ / S (20000 L/dk) | 1800 m³ / S (30000 L/dk) |
| Nihai Basınç (Pa) | 4,0 x 10 -1 Pa | 4,0 x 10 -1 Pa | 6,7 x 10 -1 Pa | 6,7 x 10 -1 Pa |
| Motor Tipi | 3 Faz | 3 Faz | 3 Faz | 3 Faz |
| Soğutma Tipi | Su Soğutmalı | Su Soğutmalı | Su Soğutmalı | Su Soğutmalı |
| Yağ | ULVOIL R-42 / SMR-100 | ULVOIL R-42 / SMR-100 | ULVOIL R-42 / SMR-100 | ULVOIL R-42 / SMR-100 |
| Yağ Kapasitesi (L) | 0,7 L | 0,7 L | 1,9 L | 1,9 L |
| Giriş Flanşı | ISO80F veya ISO100F | ISO80F veya ISO100F | ISO100F | ISO160F |
| Çıkış Flanşı | ISO80F veya ISO100F | ISO80F veya ISO100F | ISO80F veya ISO100F | ISO100F |
| Ağırlık (kg) | 51 kg | 86 kg | 118 kg | 150 kg |
| Ölçü (mm) | 296×575×260 mm | 356×619×320 mm | 406×759×340 mm | 406×989×340 mm |
