Ürünlerimiz

ULVAC MS Serisi Vidalı Tip Kuru Vakum Pompası

ULVAC MS Serisi, zorlu proses koşulları için geliştirilmiş yüksek performanslı vidalı tip kuru vakum pompasıdır. Geleneksel LS Serisi temel alınarak geliştirilen MS Serisi, gelişmiş korozyon direnci ve üstün toz tahliye performansı sayesinde korozif gazların ve partikül içeren proses gazlarının kullanıldığı uygulamalarda güvenilir çalışma sağlar.

Öne Çıkan Özellikler

• * Rotor mili ve silindir gibi kritik bileşenlerde uygulanan özel yüzey kaplamaları sayesinde yüksek korozyon direnci
• * ULVAC'ın özel rotor tasarımı ile geliştirilmiş üstün toz ve partikül tahliye performansı
• * Atmosfer basıncına yakın koşullardan nihai vakuma kadar tüm basınç aralığında sürekli çalışma imkânı
• * Yağsız çalışma prensibi sayesinde temiz ve güvenilir vakum ortamı
• * Düşük bakım gereksinimi ve uzun servis ömrü

Kullanım Alanları

MS Serisi kuru vakum pompaları, proses dayanımının kritik olduğu birçok endüstriyel uygulamada tercih edilmektedir:

• * Yarı iletken ve elektronik bileşen üretim sistemleri
• * Aşındırma (Etching), Ashing ve Plazma Temizleme prosesleri
• * Vakumlu ısıl işlem ve sinterleme fırınları
• * Karbürleme ve özel metal işleme prosesleri
• * Lityum-iyon pil üretim sistemleri
• * Elektrot kurutma, degassing ve elektrolit dolum uygulamaları
• * Dondurarak kurutma (Freeze Drying) sistemleri
• * Vakumlu kurutma sistemleri
• * Medikal ve gıda endüstrisi uygulamaları

Teknik Avantajlar

MS Serisi; MS120A, MS600A ve MS1200A modelleriyle 115 m³/h'den 980 m³/h'ye kadar geniş bir pompalama kapasitesi sunar. Yüksek proses dayanımı, korozif gazlara karşı geliştirilmiş yapısı ve güçlü partikül tahliye kabiliyeti sayesinde yarı iletken, enerji ve ileri teknoloji üretim süreçlerinde güvenilir bir vakum çözümü oluşturur.