0212 890 27 34 0543 565 70 85

Nasıl Yardımcı Olabiliriz?
Breadcrumbs Image Breadcrumbs Image

Ürünlerimiz

Ürün görseli 1
Ürün görseli 2
Ürün görseli 3
Ürün görseli 4

Yüksek Hızlı Spektroskopik Elipsometre (UNECS-Portable)

Spektroskopik Elipsometre

Fiyat: Whatsapp'tan sorunuz
Stokta Yok Ürün Açıklamasına Git

ULVAC UNECS-Portable Taşınabilir Yüksek Hızlı Spektroskopik Elipsometre

ULVAC UNECS-Portable, ince film kalınlığı ile optik sabitlerin (kırılma indisi (n) ve sönüm katsayısı (k)) hızlı ve yüksek hassasiyetle ölçülmesi amacıyla geliştirilmiş taşınabilir (Portable) Spektroskopik Elipsometre sistemidir.

Yalnızca 2,2 kg ağırlığındaki ölçüm ünitesi sayesinde laboratuvar dışında da rahatlıkla kullanılabilir. Vakum sistemlerinin saha kabul testleri (Site Acceptance Test - SAT), büyük yüzeylerin ölçümü ve Ar-Ge çalışmaları için ideal bir çözümdür. Sabit ölçüm tablası gerektiğinde çıkarılarak büyük numuneler üzerinde doğrudan ölçüm yapılabilir.

UNECS-Portable, ULVAC'ın geliştirdiği Snapshot (Tek Kare Ölçüm) teknolojisini kullanarak yalnızca 20 ms örnekleme süresiyle yüksek hızlı ölçüm gerçekleştirir. Döner optik mekanizma içermeyen kompakt sensör yapısı sayesinde mekanik aşınma oluşmaz ve periyodik bakım ihtiyacı minimum seviyeye iner.

Şeffaf ve yarı saydam ince filmlerin film kalınlığı, kırılma indisi (n) ve sönüm katsayısı (k) ölçümlerinde yüksek doğruluk sağlayan UNECS-Portable; yarı iletken üretimi, optik kaplamalar, üniversiteler, Ar-Ge laboratuvarları ve vakum ekipmanlarının yerinde doğrulama uygulamalarında güvenilir sonuçlar sunmaktadır.

Öne Çıkan Özellikler

* Taşınabilir (Portable) tasarım

* Ölçüm ünitesi yalnızca 2,2 kg

* Snapshot (Tek Kare) ölçüm teknolojisi

* 20 ms yüksek hızlı ölçüm

* Film kalınlığı (D), kırılma indisi (n) ve sönüm katsayısı (k) ölçümü

* Şeffaf ve yarı saydam ince filmler için uygun

* Çıkarılabilir sabit ölçüm tablası

* Büyük numuneler üzerinde doğrudan ölçüm imkânı

* Döner mekanizma içermeyen bakım gerektirmeyen optik sistem

* Kompakt sensör yapısı

* Windows tabanlı analiz yazılımı

* Laboratuvar ve saha uygulamaları için ideal kullanım

Kullanım Alanları

* Vakum sistemlerinin saha kabul testleri (SAT)

* Büyük boyutlu numunelerin ölçümü

* Yarı iletken üretimi

* MEMS üretimi

* OLED üretimi

* LCD üretimi

* Fotovoltaik (Solar Cell)

* SiO₂ ince film ölçümleri

* SiN ince film ölçümleri

* ITO kaplama ölçümleri

* Fotoresist kalınlık ölçümleri

* Üniversiteler

* Araştırma ve geliştirme laboratuvarları

* Kalite kontrol laboratuvarları

* Vakum ekipmanı üreticileri  


Teknik Özellikler

UNECS PORTABLE
Ölçüm Prensibi Spektroskopik Elipsometri
Ölçülen Parametreler Film kalınlığı (D), Kırılma indisi (N) Sönüm katsayısı (K)
Ölçülebilen Film Şeffaf ve yarı saydam ince filmler
Dalga Boyu 530–750 nm veya 380–760 nm
Işık Kaynağı Halojen veya Xenon
Işık Açısı 70°
Ölçüm Noktası Çapı φ1 mm veya φ0,3 mm
Tekrarlanabilirlik 0,1 nm
Ölçüm Aralığı 1 nm – 2 μm
Ölçüm Süresi Örnekleme: 20–3000 ms (ayarlanabilir) Analiz: 300 ms
Maksimum Numune Kalınlığı 8 mm
Wafer Boyutu Sabit Tabla (φ150 mm, sökülebilir)
UNECS PORTABLE
Ölçüm Prensibi
Spektroskopik Elipsometri
Ölçülen Parametreler
Film kalınlığı (D), Kırılma indisi (N) Sönüm katsayısı (K)
Ölçülebilen Film
Şeffaf ve yarı saydam ince filmler
Dalga Boyu
530–750 nm veya 380–760 nm
Işık Kaynağı
Halojen veya Xenon
Işık Açısı
70°
Ölçüm Noktası Çapı
φ1 mm veya φ0,3 mm
Tekrarlanabilirlik
0,1 nm
Ölçüm Aralığı
1 nm – 2 μm
Ölçüm Süresi
Örnekleme: 20–3000 ms (ayarlanabilir) Analiz: 300 ms
Maksimum Numune Kalınlığı
8 mm
Wafer Boyutu
Sabit Tabla (φ150 mm, sökülebilir)

Diğer Ürünler

Booster (Root) Vakum Pompası (PRC Serisi)

ULVAC HELIOT 901 Helyum Kaçak Dedektörü

Çift Kademeli Yağlı Vakum Pompası (GLD Serisi)