Ürünlerimiz

ULVAC HR Serisi Çok Kademeli Roots Tip Kuru Vakum Pompası

ULVAC HR Serisi, CVD, aşındırma (Etching) ve benzeri yüksek sıcaklık prosesleri için geliştirilmiş çok kademeli Roots tip kuru vakum pompasıdır. Pompa gövdesinde sağlanan homojen yüksek sıcaklık dağılımı sayesinde proses sırasında oluşan süblimleşebilir gaz ve partiküllerin yoğuşmasını önleyerek gaz fazında güvenli şekilde tahliye edilmesini sağlar. Yüksek korozyon direnci, üstün helyum sızdırmazlığı ve gelişmiş haberleşme özellikleri ile yarı iletken ve ileri teknoloji üretim prosesleri için güvenilir bir vakum çözümü sunmaktadır.

Öne Çıkan Özellikler

• Homojen yüksek sıcaklık dağılımı sayesinde süblimleşebilir proses gazlarının yoğuşmasını önleyen tasarım
• Canned motor teknolojisi ile yüksek helyum sızdırmazlığı ve güvenli çalışma
• 1000 ms'ye kadar kısa süreli elektrik kesintilerine karşı koruma
• Özel yüzey işlemleri sayesinde yüksek korozyon direnci
• Uyarı, alarm ve çalışma verilerinin izlenmesine olanak sağlayan gelişmiş haberleşme fonksiyonu
• Yağsız çalışma prensibi sayesinde temiz ve güvenilir vakum ortamı
• Sürekli çalışma için tasarlanmış dayanıklı ve uzun ömürlü yapı

Kullanım Alanları

HR Serisi kuru vakum pompaları, yüksek sıcaklıkta çalışan ve korozif proses gazlarının bulunduğu uygulamalar için geliştirilmiştir:

• CVD (Chemical Vapor Deposition) sistemleri
• Etching (Aşındırma) sistemleri
• Ashing prosesleri
• ALD (Atomic Layer Deposition) sistemleri
• Yarı iletken üretim prosesleri
• Mikroelektronik üretim hatları
• İleri teknoloji kaplama sistemleri
• Korozif gaz kullanılan endüstriyel vakum uygulamaları

Teknik Avantajlar

HR Serisi; HR60, HR90, HR300, HR600 ve HR1200 modelleriyle 62 m³/h ile 1.051 m³/h arasında pompalama kapasitesi sunmaktadır. Yüksek sıcaklıkta homojen gövde yapısı sayesinde proses sırasında oluşan süblimleşebilir bileşiklerin pompa içerisinde birikmesini önlerken, gelişmiş korozyon direnci ve haberleşme özellikleri ile bakım sürelerini azaltır ve sistem güvenilirliğini artırır. Özellikle yarı iletken üretimi, CVD ve aşındırma proseslerinde uzun süreli ve kararlı çalışma performansı sunmaktadır.