ULVAC LS Serisi Vidalı Tip Kuru Vakum Pompası
ULVAC LS Serisi, yüksek pompalama hızı ve düşük enerji tüketimini bir arada sunmak üzere geliştirilmiş vidalı tip kuru vakum pompasıdır. ULVAC'ın özel vida geometrisi ve ECO-SHOCK enerji tasarruf teknolojisi sayesinde, atmosfer basıncına yakın bölgelerde yüksek pompalama performansı sağlarken işletme maliyetlerini minimum seviyede tutar. Farklı kapasite seçenekleriyle birçok endüstriyel ve bilimsel uygulama için güvenilir vakum çözümü sunar.
Öne Çıkan Özellikler
- * Atmosfer basıncına yakın bölgelerde yüksek pompalama hızı sayesinde daha kısa tahliye süreleri
- * ECO-SHOCK teknolojisi ile düşük enerji tüketimi
- * Yağsız çalışma prensibi sayesinde temiz ve güvenilir vakum ortamı
- * Dahili susturucu sayesinde düşük gürültü seviyesi
- * Şaft sızdırmazlık gazı gerektirmeyen tasarım ile düşük işletme maliyeti
- * Tüm basınç aralığında sürekli çalışma imkânı
- * 120 m³/h ile 1200 m³/h arasında farklı kapasite seçenekleri
Kullanım Alanları
LS Serisi kuru vakum pompaları, temiz prosesler ve hafif proses uygulamaları için özel olarak geliştirilmiştir:
C Tipi (Clean Process)
- * Sputtering sistemleri
- * Buharlaştırma (Evaporation) sistemleri
- * Laminasyon prosesleri
- * Load Lock odaları
- * Turbo Moleküler pompa ön vakum uygulamaları
L Tipi (Light Process)
- * Vakum kurutma sistemleri
- * Dondurarak kurutma (Freeze Drying) uygulamaları
- * Ashing prosesleri
- * Su buharı ve uçucu kimyasalların bulunduğu prosesler
- * Genel endüstriyel vakum uygulamaları
Teknik Avantajlar
LS Serisi; LS120A, LS300A, LS600A ve LS1200A modelleriyle geniş bir kapasite aralığı sunar. Yüksek pompalama hızı, düşük enerji tüketimi ve sessiz çalışma özellikleri sayesinde yarı iletken, ince film kaplama, laboratuvar ve endüstriyel üretim uygulamalarında verimli ve güvenilir performans sağlar. Özellikle temiz prosesler için geliştirilen C Tipi modeller ve hafif proses uygulamalarına yönelik L Tipi modeller sayesinde farklı proses gereksinimlerine uygun çözümler sunar.