0212 890 27 34 0543 565 70 85

Nasıl Yardımcı Olabiliriz?
Breadcrumbs Image Breadcrumbs Image

Ürünlerimiz

Ürün görseli 1
Ürün görseli 2
Ürün görseli 3
Ürün görseli 4
Ürün görseli 5
Ürün görseli 6

Yüksek Hızlı Spektroskopik Elipsometre (UNECS Serisi)

Spektroskopik Elipsometre

Fiyat: Whatsapp'tan sorunuz
Stokta Yok Ürün Açıklamasına Git

ULVAC UNECS-1500A / 2000A / 3000A Yüksek Hızlı Spektroskopik Elipsometre

ULVAC UNECS-1500A, UNECS-2000A ve UNECS-3000A, ince film kalınlığı ile optik sabitlerin (n ve k) hızlı ve yüksek hassasiyetle ölçülmesi amacıyla geliştirilmiş otomatik haritalama (Auto Mapping) özellikli Spektroskopik Elipsometre sistemleridir.

UNECS Serisi, ULVAC'ın geliştirdiği Snapshot (Tek Kare Ölçüm) teknolojisi sayesinde yalnızca 20 ms örnekleme süresi ile yüksek hızlı ölçüm gerçekleştirebilir. Döner optik mekanizma içermeyen kompakt sensör yapısı, bakım gereksinimini minimum seviyeye indirirken uzun yıllar kararlı ölçüm performansı sağlar.

UNECS Auto Mapping Serisi; 150 mm, 200 mm ve 300 mm wafer ölçümleri için üç farklı modelden oluşmaktadır. Otomatik R-θ hareket sistemi, otomatik odaklama (Auto Focus) ve renkli kalınlık haritalama (Color Mapping) özellikleri sayesinde tüm wafer yüzeyindeki film kalınlığı dağılımı kısa sürede analiz edilebilir.

Yüksek ölçüm hassasiyeti, gelişmiş analiz yazılımı ve otomatik haritalama fonksiyonları sayesinde yarı iletken üretimi, optik kaplamalar, MEMS, güneş hücreleri ve Ar-Ge laboratuvarlarında kalite kontrol amacıyla yaygın olarak kullanılmaktadır.

Öne Çıkan Özellikler

* Snapshot (Tek Kare) ölçüm teknolojisi

* 20 ms yüksek hızlı örnekleme

* Spektroskopik Elipsometri ölçüm yöntemi

* Film kalınlığı, kırılma indisi (n) ve sönüm katsayısı (k) ölçümü

* Tam otomatik wafer haritalama (Auto Mapping)

* Otomatik odaklama (Auto Focus)

* 2D ve 3D film kalınlığı haritalama

* Döner mekanizma içermeyen bakım gerektirmeyen optik sistem

* 150 mm, 200 mm ve 300 mm wafer desteği

* Kompakt sensör yapısı

* Yüksek tekrar edilebilirlik (0,1 nm)

* Windows tabanlı analiz yazılımı

Kullanım Alanları

* Yarı iletken üretimi

* MEMS üretimi

* OLED üretimi

* LCD üretimi

* Fotovoltaik (Solar Cell)

* Optik ince film kaplamaları

* SiO₂ ölçümleri

* SiN ölçümleri

* Fotoresist ölçümleri

* ITO kaplamaları

* Şeffaf ve yarı saydam ince filmler

* Üniversiteler

* Ar-Ge laboratuvarları

* Kalite kontrol laboratuvarları


Teknik Özellikler

UNECS-1500A UNECS-2000A UNECS-3000A
Ölçüm Prensibi Spektroskopik Elipsometri Spektroskopik Elipsometri Spektroskopik Elipsometri
Ölçülen Parametreler Film kalınlığı (D), Kırılma indisi (N) Sönüm katsayısı (K) Film kalınlığı (D), Kırılma indisi (N) Sönüm katsayısı (K) Film kalınlığı (D), Kırılma indisi (N) Sönüm katsayısı (K)
Ölçülebilen Film Şeffaf ve yarı saydam ince filmler Şeffaf ve yarı saydam ince filmler Şeffaf ve yarı saydam ince filmler
Dalga Boyu 530–750 nm veya 380–760 nm 530–750 nm veya 380–760 nm 530–750 nm veya 380–760 nm
Işık Kaynağı Halojen veya Xenon Halojen veya Xenon Halojen veya Xenon
Işık Açısı 70° 70° 70°
Ölçüm Noktası Çapı φ1 mm veya φ0,3 mm φ1 mm veya φ0,3 mm φ1 mm veya φ0,3 mm
Tekrarlanabilirlik 0,1 nm 0,1 nm 0,1 nm
Ölçüm Aralığı 1 nm – 2 μm 1 nm – 2 μm 1 nm – 2 μm
Ölçüm Süresi Örnekleme: 20–3000 ms (ayarlanabilir) Analiz: 300 ms Örnekleme: 20–3000 ms (ayarlanabilir) Analiz: 300 ms Örnekleme: 20–3000 ms (ayarlanabilir) Analiz: 300 ms
Maksimum Numune Kalınlığı 30 mm 30 mm 30 mm
Wafer Boyutu φ150 mm φ200 mm φ300 mm
Tabla Hareket Mesafesi (R) 0–75 mm Programlanabilir (0,1 mm çözünürlük) 0–100 mm Programlanabilir (0,1 mm çözünürlük) 0–150 mm Programlanabilir (0,1 mm çözünürlük)
Tabla Hareket Açısı (θ) 0–359,9° Programlanabilir (0,1° çözünürlük) 0–359,9° Programlanabilir (0,1° çözünürlük) 0–359,9° Programlanabilir (0,1° çözünürlük)
Otomatik Ölçüm Noktası 200 (Opsiyon: 2.000) 200 (Opsiyon: 2.000) 2.000
Auto Focus Var Var Var
Kamera Opsiyonel Opsiyonel Opsiyonel
Programlanabilir Hareket Mesafesi 0–75 mm 0–100 mm 0–150 mm
Vakum 75 kPa (Vakum Pompası Kullanılabilir) 75 kPa (Vakum Pompası Kullanılabilir) 75 kPa (Vakum Pompası Kullanılabilir)
UNECS-1500A
Ölçüm Prensibi
Spektroskopik Elipsometri
Ölçülen Parametreler
Film kalınlığı (D), Kırılma indisi (N) Sönüm katsayısı (K)
Ölçülebilen Film
Şeffaf ve yarı saydam ince filmler
Dalga Boyu
530–750 nm veya 380–760 nm
Işık Kaynağı
Halojen veya Xenon
Işık Açısı
70°
Ölçüm Noktası Çapı
φ1 mm veya φ0,3 mm
Tekrarlanabilirlik
0,1 nm
Ölçüm Aralığı
1 nm – 2 μm
Ölçüm Süresi
Örnekleme: 20–3000 ms (ayarlanabilir) Analiz: 300 ms
Maksimum Numune Kalınlığı
30 mm
Wafer Boyutu
φ150 mm
Tabla Hareket Mesafesi (R)
0–75 mm Programlanabilir (0,1 mm çözünürlük)
Tabla Hareket Açısı (θ)
0–359,9° Programlanabilir (0,1° çözünürlük)
Otomatik Ölçüm Noktası
200 (Opsiyon: 2.000)
Auto Focus
Var
Kamera
Opsiyonel
Programlanabilir Hareket Mesafesi
0–75 mm
Vakum
75 kPa (Vakum Pompası Kullanılabilir)
UNECS-2000A
Ölçüm Prensibi
Spektroskopik Elipsometri
Ölçülen Parametreler
Film kalınlığı (D), Kırılma indisi (N) Sönüm katsayısı (K)
Ölçülebilen Film
Şeffaf ve yarı saydam ince filmler
Dalga Boyu
530–750 nm veya 380–760 nm
Işık Kaynağı
Halojen veya Xenon
Işık Açısı
70°
Ölçüm Noktası Çapı
φ1 mm veya φ0,3 mm
Tekrarlanabilirlik
0,1 nm
Ölçüm Aralığı
1 nm – 2 μm
Ölçüm Süresi
Örnekleme: 20–3000 ms (ayarlanabilir) Analiz: 300 ms
Maksimum Numune Kalınlığı
30 mm
Wafer Boyutu
φ200 mm
Tabla Hareket Mesafesi (R)
0–100 mm Programlanabilir (0,1 mm çözünürlük)
Tabla Hareket Açısı (θ)
0–359,9° Programlanabilir (0,1° çözünürlük)
Otomatik Ölçüm Noktası
200 (Opsiyon: 2.000)
Auto Focus
Var
Kamera
Opsiyonel
Programlanabilir Hareket Mesafesi
0–100 mm
Vakum
75 kPa (Vakum Pompası Kullanılabilir)
UNECS-3000A
Ölçüm Prensibi
Spektroskopik Elipsometri
Ölçülen Parametreler
Film kalınlığı (D), Kırılma indisi (N) Sönüm katsayısı (K)
Ölçülebilen Film
Şeffaf ve yarı saydam ince filmler
Dalga Boyu
530–750 nm veya 380–760 nm
Işık Kaynağı
Halojen veya Xenon
Işık Açısı
70°
Ölçüm Noktası Çapı
φ1 mm veya φ0,3 mm
Tekrarlanabilirlik
0,1 nm
Ölçüm Aralığı
1 nm – 2 μm
Ölçüm Süresi
Örnekleme: 20–3000 ms (ayarlanabilir) Analiz: 300 ms
Maksimum Numune Kalınlığı
30 mm
Wafer Boyutu
φ300 mm
Tabla Hareket Mesafesi (R)
0–150 mm Programlanabilir (0,1 mm çözünürlük)
Tabla Hareket Açısı (θ)
0–359,9° Programlanabilir (0,1° çözünürlük)
Otomatik Ölçüm Noktası
2.000
Auto Focus
Var
Kamera
Opsiyonel
Programlanabilir Hareket Mesafesi
0–150 mm
Vakum
75 kPa (Vakum Pompası Kullanılabilir)

Diğer Ürünler

Booster (Root) Vakum Pompası (PRC Serisi)

ULVAC HELIOT 901 Helyum Kaçak Dedektörü

Çift Kademeli Yağlı Vakum Pompası (GLD Serisi)