0212 890 27 34 0543 565 70 85

How Can We Help You?
Breadcrumbs Image Breadcrumbs Image

Our Products

Ürün görseli 1
Ürün görseli 2
Ürün görseli 3
Ürün görseli 4
Ürün görseli 5
Ürün görseli 6

High-Speed Spectroscopic Ellipsometer

High-speed Spectroscopic Ellipsometer

Price: Ask via WhatsApp
Out of Stock Ürün Açıklamasına Git

ULVAC UNECS-1500A / 2000A / 3000A High-Speed Spectroscopic Ellipsometer

The ULVAC UNECS-1500A, UNECS-2000A, and UNECS-3000A are Spectroscopic Ellipsometer systems with Automatic Mapping capability, developed for fast and highly accurate measurement of thin film thickness and optical constants (n and k).

The UNECS Series utilizes ULVAC's proprietary Snapshot (Single-Shot Measurement) technology, enabling high-speed measurements with a sampling time of only 20 ms. Its compact sensor design, which contains no rotating optical mechanism, minimizes maintenance requirements while ensuring stable measurement performance over many years.

The UNECS Auto Mapping Series consists of three models designed for 150 mm, 200 mm, and 300 mm wafer measurements. Equipped with an automatic R-θ motion system, Auto Focus, and Color Mapping functions, the system can quickly analyze the film thickness distribution across the entire wafer surface.

Thanks to its high measurement accuracy, advanced analysis software, and automatic mapping capabilities, the UNECS Series is widely used for quality control in semiconductor manufacturing, optical coatings, MEMS, solar cells, and research & development laboratories.

Key Features

Snapshot (Single-Shot) measurement technology

20 ms high-speed sampling

Spectroscopic Ellipsometry measurement method

Measurement of film thickness, refractive index (n), and extinction coefficient (k)

Fully automatic wafer mapping (Auto Mapping)

Automatic focusing (Auto Focus)

2D and 3D film thickness mapping

Maintenance-free optical system without rotating mechanisms

Supports 150 mm, 200 mm, and 300 mm wafers

Compact sensor design

High repeatability (0.1 nm)

Windows-based analysis software

Applications

Semiconductor manufacturing

MEMS manufacturing

OLED manufacturing

LCD manufacturing

Photovoltaics (Solar Cells)

Optical thin-film coatings

SiO₂ measurements

SiN measurements

Photoresist measurements

ITO coatings

Transparent and semi-transparent thin films

Universities

Research & Development laboratories

Quality control laboratories


Teknik Özellikler

UNECS-1500A UNECS-2000A UNECS-3000A
Ölçüm Prensibi Spektroskopik Elipsometri Spektroskopik Elipsometri Spektroskopik Elipsometri
Ölçülen Parametreler Film kalınlığı (D), Kırılma indisi (N) Sönüm katsayısı (K) Film kalınlığı (D), Kırılma indisi (N) Sönüm katsayısı (K) Film kalınlığı (D), Kırılma indisi (N) Sönüm katsayısı (K)
Ölçülebilen Film Şeffaf ve yarı saydam ince filmler Şeffaf ve yarı saydam ince filmler Şeffaf ve yarı saydam ince filmler
Dalga Boyu 530–750 nm veya 380–760 nm 530–750 nm veya 380–760 nm 530–750 nm veya 380–760 nm
Işık Kaynağı Halojen veya Xenon Halojen veya Xenon Halojen veya Xenon
Işık Açısı 70° 70° 70°
Ölçüm Noktası Çapı φ1 mm veya φ0,3 mm φ1 mm veya φ0,3 mm φ1 mm veya φ0,3 mm
Tekrarlanabilirlik 0,1 nm 0,1 nm 0,1 nm
Ölçüm Aralığı 1 nm – 2 μm 1 nm – 2 μm 1 nm – 2 μm
Ölçüm Süresi Örnekleme: 20–3000 ms (ayarlanabilir) Analiz: 300 ms Örnekleme: 20–3000 ms (ayarlanabilir) Analiz: 300 ms Örnekleme: 20–3000 ms (ayarlanabilir) Analiz: 300 ms
Maksimum Numune Kalınlığı 30 mm 30 mm 30 mm
Wafer Boyutu φ150 mm φ200 mm φ300 mm
Tabla Hareket Mesafesi (R) 0–75 mm Programlanabilir (0,1 mm çözünürlük) 0–100 mm Programlanabilir (0,1 mm çözünürlük) 0–150 mm Programlanabilir (0,1 mm çözünürlük)
Tabla Hareket Açısı (θ) 0–359,9° Programlanabilir (0,1° çözünürlük) 0–359,9° Programlanabilir (0,1° çözünürlük) 0–359,9° Programlanabilir (0,1° çözünürlük)
Otomatik Ölçüm Noktası 200 (Opsiyon: 2.000) 200 (Opsiyon: 2.000) 2.000
Auto Focus Var Var Var
Kamera Opsiyonel Opsiyonel Opsiyonel
Programlanabilir Hareket Mesafesi 0–75 mm 0–100 mm 0–150 mm
Vakum 75 kPa (Vakum Pompası Kullanılabilir) 75 kPa (Vakum Pompası Kullanılabilir) 75 kPa (Vakum Pompası Kullanılabilir)
UNECS-1500A
Ölçüm Prensibi
Spektroskopik Elipsometri
Ölçülen Parametreler
Film kalınlığı (D), Kırılma indisi (N) Sönüm katsayısı (K)
Ölçülebilen Film
Şeffaf ve yarı saydam ince filmler
Dalga Boyu
530–750 nm veya 380–760 nm
Işık Kaynağı
Halojen veya Xenon
Işık Açısı
70°
Ölçüm Noktası Çapı
φ1 mm veya φ0,3 mm
Tekrarlanabilirlik
0,1 nm
Ölçüm Aralığı
1 nm – 2 μm
Ölçüm Süresi
Örnekleme: 20–3000 ms (ayarlanabilir) Analiz: 300 ms
Maksimum Numune Kalınlığı
30 mm
Wafer Boyutu
φ150 mm
Tabla Hareket Mesafesi (R)
0–75 mm Programlanabilir (0,1 mm çözünürlük)
Tabla Hareket Açısı (θ)
0–359,9° Programlanabilir (0,1° çözünürlük)
Otomatik Ölçüm Noktası
200 (Opsiyon: 2.000)
Auto Focus
Var
Kamera
Opsiyonel
Programlanabilir Hareket Mesafesi
0–75 mm
Vakum
75 kPa (Vakum Pompası Kullanılabilir)
UNECS-2000A
Ölçüm Prensibi
Spektroskopik Elipsometri
Ölçülen Parametreler
Film kalınlığı (D), Kırılma indisi (N) Sönüm katsayısı (K)
Ölçülebilen Film
Şeffaf ve yarı saydam ince filmler
Dalga Boyu
530–750 nm veya 380–760 nm
Işık Kaynağı
Halojen veya Xenon
Işık Açısı
70°
Ölçüm Noktası Çapı
φ1 mm veya φ0,3 mm
Tekrarlanabilirlik
0,1 nm
Ölçüm Aralığı
1 nm – 2 μm
Ölçüm Süresi
Örnekleme: 20–3000 ms (ayarlanabilir) Analiz: 300 ms
Maksimum Numune Kalınlığı
30 mm
Wafer Boyutu
φ200 mm
Tabla Hareket Mesafesi (R)
0–100 mm Programlanabilir (0,1 mm çözünürlük)
Tabla Hareket Açısı (θ)
0–359,9° Programlanabilir (0,1° çözünürlük)
Otomatik Ölçüm Noktası
200 (Opsiyon: 2.000)
Auto Focus
Var
Kamera
Opsiyonel
Programlanabilir Hareket Mesafesi
0–100 mm
Vakum
75 kPa (Vakum Pompası Kullanılabilir)
UNECS-3000A
Ölçüm Prensibi
Spektroskopik Elipsometri
Ölçülen Parametreler
Film kalınlığı (D), Kırılma indisi (N) Sönüm katsayısı (K)
Ölçülebilen Film
Şeffaf ve yarı saydam ince filmler
Dalga Boyu
530–750 nm veya 380–760 nm
Işık Kaynağı
Halojen veya Xenon
Işık Açısı
70°
Ölçüm Noktası Çapı
φ1 mm veya φ0,3 mm
Tekrarlanabilirlik
0,1 nm
Ölçüm Aralığı
1 nm – 2 μm
Ölçüm Süresi
Örnekleme: 20–3000 ms (ayarlanabilir) Analiz: 300 ms
Maksimum Numune Kalınlığı
30 mm
Wafer Boyutu
φ300 mm
Tabla Hareket Mesafesi (R)
0–150 mm Programlanabilir (0,1 mm çözünürlük)
Tabla Hareket Açısı (θ)
0–359,9° Programlanabilir (0,1° çözünürlük)
Otomatik Ölçüm Noktası
2.000
Auto Focus
Var
Kamera
Opsiyonel
Programlanabilir Hareket Mesafesi
0–150 mm
Vakum
75 kPa (Vakum Pompası Kullanılabilir)

Other Products

Mechanical Booster Pump (Root Pump)

ULVAC HELIOT 901 Helium Gas Leak Detector

Oil Rotary Vacuum Pump