ULVAC LR Serisi Çok Kademeli Roots Tip Kuru Vakum Pompası
ULVAC LR Serisi, yüksek pompalama performansı ve kısa tahliye süreleri gerektiren uygulamalar için geliştirilmiş çok kademeli Roots tip kuru vakum pompasıdır. Düşük sıcaklıkta optimize edilmiş pompa yapısı sayesinde özellikle PVD prosesleri ve Load Lock odalarının hızlı tahliyesinde üstün performans sunar. Yüksek helyum sızdırmazlığı, gelişmiş haberleşme özellikleri ve güvenilir çalışma yapısıyla yarı iletken, ince film kaplama ve ileri teknoloji üretim prosesleri için verimli bir vakum çözümü sağlar.
Öne Çıkan Özellikler
Kullanım Alanları
LR Serisi kuru vakum pompaları, hızlı pompalama ve yüksek proses verimliliğinin önemli olduğu birçok uygulamada tercih edilmektedir:
Teknik Avantajlar
LR Serisi; LR60, LR90, LR180, LR300, LR600, LR1200, LR1800 ve LR3601 modelleriyle geniş bir pompalama kapasitesi aralığı sunmaktadır. Düşük sıcaklıkta optimize edilmiş tasarımı sayesinde özellikle Load Lock odalarında pompalama süresini önemli ölçüde azaltarak üretim verimliliğini artırır. Yüksek helyum sızdırmazlığı, gelişmiş kontrol fonksiyonları ve sağlam mekanik yapısı sayesinde yarı iletken, PVD ve ince film kaplama proseslerinde uzun ömürlü, güvenilir ve kararlı performans sağlar.
| LR60 | LR90 | LR180 | LR421 / LR421-T | LR300 | LR600 | LR1200 | LR1800 | LR3601 / LR3601-T | LR3601-R / LR3601- TR | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Pompa Devir Hızı (50 Hz) | 62 (1030) m³ /S (L/dk) | 112 (1860) m³ /S (L/dk) | 183 m³ / S (3100 L/dk) | 440 m³ / S (7333 L/dk) | 359 m³ / S (5.980 L/dk) | 653 (10,900) m³ /S (L/dk | 1.012 m³ / S (16.900 L/dk) | 1.701 m³ / S (28.350 L/dk) | 3.200 m³ /S (53.333 L/dk) | 3.200 m³ /S (53.333 L/dk) |
| Pompa Devir Hızı (60 Hz) | 80 (1333) m³ /S (L/dk) | 126 (2100) m³ /S (L/dk) | 237 m³ / S (3950 L/dk) | 365 (6,080) m³ /S (L/dk) | 701 (11,700) m³ /S (L/dk | 1.051 m³ /S (17.500 L/dk) | 1.784 m³ /S (29.700 L/dk) | |||
| Nihai Basınç (Pa) | 5.0 Pa | 5.0 Pa | 5.0 Pa | 5.0 Pa | 0,67 Pa | 0,67 Pa | 0,67 Pa | 0,67 Pa | 0,67 Pa | 0,67 Pa |
| Motor Tipi | 3 Faz | 3 Faz | 3 Faz | 3 Faz | 3 Faz | 3 Faz | 3 Faz | 3 Faz | 3 Faz | 3 Faz |
| Soğutma Tipi | Su Soğutmalı | Su Soğutmalı | Su Soğutmalı | Su Soğutmalı | Su Soğutmalı | Su Soğutmalı | Su Soğutmalı | Su Soğutmalı | Su Soğutmalı | Su Soğutmalı |
| Giriş Flanşı | VG50 (KF50) | VG80 (KF50) | VG80 (KF50) | VG100 | VG80 (KF80) | VG80 (KF80) | VG100 (KF100) | VG150 (KF100) | VG150 | VG150 |
| Çıkış Flanşı | KF40 | KF40 | KF40 | VG50 | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 | KF50 | KF50 |
| Ağırlık (kg) | 180 kg | 245 kg | 335 kg | 415 kg | 275 kg | 370 kg | 420 kg | 545 kg | 660 / 720 kg | 660 / 720 kg |
| Ölçü (mm) |
